CS-4和CS-6探針臺的技術參數比較如下:
CS-4探針臺:
· Chuck尺寸:4英寸
· 水平旋轉:可360度旋轉,可微調15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
· XY移動行程:4英寸*4英寸
· X-Y移動精度:10um
· 樣品臺Z軸調節:可升降8mm
· 樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環
· 針座平臺:U型針座平臺,最多可放置6個探針座
· 背電極測試:樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極
· 顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡
· 放大倍率:16X-100X
· 移動行程:水平方向繞立柱360度旋轉,Z軸50.8mm
· 光源:外置LED無極調節亮度環形光源
· CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
· XY-Z移動行程:12mm12mm12mm
· 移動精度:10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
· 吸附方式:磁力吸附/真空吸附
· 線纜類型:同軸線/三軸線/射頻線
· 漏電精度:10pA/100fA/10fA
· 固定探針方式:彈簧固定/管狀固定
· 接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
· DC針尖直徑:0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
· RF探針頻率:40GHz/50GHz/67GHz/110GHz
· 材質:鎢鋼/鈹銅/鍍鎳
· 外形尺寸:400mm長400mm寬500mm高
· 重量:約25千克
· 可選附件包括加熱臺、屏蔽箱、顯示器、防震桌、轉接頭、鍍金卡盤、射頻測試配件和光電測試配件等。
CS-6探針臺:
· Chuck尺寸:6英寸
· 水平旋轉:可360度旋轉,可微調15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
· XY移動行程:4英寸*4英寸
· X-Y移動精度:10um
· 樣品臺Z軸調節:可升降8mm
· 樣品固定方式:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環
· 針座平臺:U型針座平臺,最多可放置6個探針座
· 背電極測試方式:樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極
· 顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡
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