CINDBEST CH-8|8"~12" 綜合性分析探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)
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特點(diǎn)/應(yīng)用
◆ 最大可用于12英寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試
◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)
◆ 大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無(wú)回程差設(shè)計(jì)
◆ 針座平臺(tái)快速、微調(diào)升降功能
◆ 可搭配多種類(lèi)型顯微鏡
◆ 晶片測(cè)試、光電器件測(cè)試、PCB/IC測(cè)試、射頻測(cè)試、高壓大電流測(cè)試等
◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無(wú)縫升級(jí)
◆ 探針臺(tái)可根據(jù)客戶(hù)要求定制。
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臺(tái)體規(guī)格
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型號(hào) |
CH-8/CH-12 |
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樣品臺(tái)尺寸 |
8英寸/12英寸 |
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水平旋轉(zhuǎn) |
可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
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X-Y移動(dòng)行程 |
8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 |
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X-Y移動(dòng)精度 |
10微米/1微米 |
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樣品固定 |
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán) |
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針座平臺(tái) |
U型針座平臺(tái)，最多可放置10個(gè)探針座 |
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平臺(tái)升降 |
可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm |
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背電極測(cè)試 |
樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極 |
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外形尺寸 |
840mm長(zhǎng)*600mm寬*700mm高/950mm長(zhǎng)*700mm寬*700mm高 |
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重量 |
約100千克/150千克 |
光學(xué)系統(tǒng)
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顯微鏡類(lèi)型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移動(dòng)行程 |
X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm |
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光源 |
外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
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CCD |
200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素 |
定位器
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X-Y-Z移動(dòng)行程 |
12mm*12mm*12mm |
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移動(dòng)精度 |
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
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吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
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線纜 |
同軸線/三軸線 |
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漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
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接頭類(lèi)型 |
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子 |
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針尖直徑 |
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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針尖材質(zhì) |
鎢鋼/鈹銅 |
可選附件
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加熱臺(tái) |
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顯示器 |
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轉(zhuǎn)接頭 |
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射頻測(cè)試配件 |
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屏蔽箱 |
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光學(xué)平臺(tái) |
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鍍金卡盤(pán) |
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光電測(cè)試配件 |
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高壓測(cè)試配件 |
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顯微鏡快速傾仰裝置 |
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激光系統(tǒng) |
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探針卡夾具 |
規(guī)格及設(shè)計(jì)如有更改，恕不另行通知。
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