CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低溫真空探針臺測試系統
|
特點/應用
◆ 2至6英寸樣品臺
◆ 高真空腔體
◆ 防輻射屏設計，樣品溫度均勻性更好
◆ 77K-675K高低溫環境
◆ 兼容IV/CV/RF測試
◆ 外置多探針臂，移動行程大
◆ 經濟實用，可無縫升級 |
|
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。
◆ 腔體規格：
|
型號 |
CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
|
樣品臺尺寸 |
2英寸/4英寸/6英寸 |
|
樣品固定 |
彈簧壓片 |
|
觀察窗口 |
2英寸/4英寸/6英寸 |
|
真空度 |
10-6torr |
|
探針臂接口 |
4~6個探針臂接口 |
|
其他接口 |
電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
|
制冷方式 |
液氮/液氦/制冷機 |
|
溫度范圍 |
77K到573K/4.5K到573K |
|
溫控精度 |
0.1K/0.01K/0.001K |
|
穩定性 |
±1K/±0.1K/±0.01K |
|
外形 |
880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高 |
|
重量 |
約100千克/120千克 |
◆ 光學系統：
|
顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
|
放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
|
移動行程 |
水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm |
|
光源 |
外置LED環形光源/同軸光源 |
|
CCD |
200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
◆ 探針臂：
|
X-Y-Z移動行程 |
50mm*50mm*50mm |
|
結構 |
外置探針臂，真空波紋管結構 |
|
移動精度 |
10微米/1微米 |
|
線纜 |
同軸線/三軸線/射頻線 |
|
漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
|
固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
|
接頭類型 |
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
|
頻率支持 |
DC-67GHZ |
|
針尖直徑 |
0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
◆ 其他組件：
|
真空組件 |
分子泵組/機械泵/離子泵 |
|
冷源組件 |
50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機 |
◆ 可選附件
|
超高溫配件 |
|
顯示器 |
|
轉接頭 |
|
射頻測試配件 |
|
屏蔽箱 |
|
光學平臺 |
|
鍍金卡盤 |
|
光電測試配件 |
|
高壓測試配件 |
|
分子泵組 |
|
激光系統 |
|
氣敏測試配件 |
規格及設計如有更改，恕不另行通知。
|
版權所有：深圳市森東寶科技有限公司 |
深圳市森東寶科技有限公司
地址:深圳市龍華區大浪街道新石社區麗榮路5號偉華達工業園E棟8樓東
電話: 0755-29412885 |
