壓電馬達(dá)驅(qū)動的位移臺特點:
1、長行程,理論上無行程限制
2、超高精度,可迖10納米
3、無回程間隙,具內(nèi)秉剎車功能
4、無磁,無油,無電磁干擾,真空兼容
5、快速,速度迖300毫米/秒
6、超薄設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊
壓電馬達(dá)驅(qū)動的位移臺特點:
1、長行程,理論上無行程限制
2、超高精度,可迖10納米
3、無回程間隙,具內(nèi)秉剎車功能
4、無磁,無油,無電磁干擾,真空兼容
5、快速,速度迖300毫米/秒
6、超薄設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊